ドライクリーナー装置

 

ドライクリーナー装置

ガラス基板上の塵埃除去を目的とした装置です。
超音波エアー方式により非接触にてミクロン単位での除塵を行います。
非接触のため製品表面に傷の心配がなく、同時に静電気の発生も抑えられます。

ワークテーブル

  • 材質: A5052(アルマイト表面処理)
  • 平面度: ±20μm以内
  • ギャップ調整: ダイヤルゲージ゙による調整

 

USクリーナー

  • 本体: ヒューグルエレクトロニクス社製
  • テーブル移動駆動源: ACサーボモーター
  • テーブル搬送速度: デジタルスイッチ設定

 

ユーティリティー

  • 3φ3W  200〜220V  20A

 

 

 

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